A社のインチワーム式ピエゾドライバーの駆動性能を検査した結果。1ステップで41.,91.39 nm移動することがわかる。移動直後のスパイク状信号は、機械系で起こったnmスケールの減衰振動を示す (by N. Noda, Sept. 2004).



上記データの加算平均処理結果 (by N. Noda, Sept. 2004)




B社のステップモーター式アクチュエーター。1ステップは約428+103(n=6)で、偏差が大きい(by N. Noda, Nov. 2004).。



C社の減速ギア(ハーモニックドライブ方式)内蔵のアクチュエーター (by N. Noda, Nov. 2004).。